安徽高精度探針臺
它是如何工作的?探針臺將晶圓或芯片固定在安裝在平臺上的卡盤上,該平臺允許將 DUT 定位在顯微鏡視野的中心。機械手放置在平臺的平面上,并在機械手中插入探針臂和先進。探頭先進必須適合要執行的測試程序。然后,用戶通過調整相應的操縱器將探針先進精確定位在設備內的正確位置。然后通過降低壓板使探針與晶片接觸;現在可以測試該設備。對于具有多個器件的晶圓,在測試一個器件后,可以升起壓板并將支撐晶圓的平臺移動到下一個器件。探針臺建設需要綜合考慮技術、人力、資金等眾多因素。安徽高精度探針臺
探針臺分類,探針臺從操作上來區分有:手動,半自動,全自動,從功能上來區分有:溫控探針臺,真空探針臺(較低溫探針臺),RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應探針臺,表面電阻率探針臺。經濟手動型,根據客戶需求定制:chuck尺寸:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可選);X-Y移動行程:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可選);chuck Z軸方向升降10mm(選項)方便探針與樣品快速分離;顯微鏡:金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選);顯微鏡移動方式:立柱環繞型、移動平臺型、龍門結構型(可選);探針座:有0.7um、2um、10um精度可選,磁性吸附帶磁力開關;可搭配Probe card測試;適用領域:晶圓廠、研究所、高校等。浙江半導體晶圓測試探針臺價位探針臺的科技成果對推進全球科學事業、推動人類文明進步發揮著重要的作用。
探針臺的作用是什么?探針臺可以將電探針、光學探針或射頻探針放置在硅晶片上,從而可以與測試儀器/半導體測試系統配合來測試芯片/半導體器件。這些測試可以很簡單,例如連續性或隔離檢查,也可以很復雜,包括微電路的完整功能測試。可以在將晶圓鋸成單個管芯之前或之后進行測試。在晶圓級別的測試允許制造商在生產過程中多次測試芯片器件,這可以提供有關哪些工藝步驟將缺陷引入較終產品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測試管芯,這在封裝成本相對于器件成本高的應用中很重要。探針臺還可以用于研發、產品開發和故障分析應用。
目前,市面上定位器主要的形式有三種:(1)燕尾導向型。使用燕尾導向機構,可有效地降低產品成本。缺點是,直線導向精度比交叉滾子導軌要差,并不適用于高精度操作。通常看到該類配置都是與配套了體視顯微鏡的探針臺搭配使用。(2)交叉滾子導軌導向型。相比于燕尾導軌,直線精度有效地提高了。適用于目前大部分客戶的定位需求。缺點是,超高倍數下因為機構原因(XYZ機構是像蛋糕一樣一層疊一層),手部操作的震動很容易傳遞到探針上。在高倍下探針的震動會被觀察到,很影響用戶扎探針。比如要把探針扎到幾微米甚至1微米左右的PAD上,將會相對比較困難。(3)交叉滾子導向、高穩定型。該結構設計把定位器上移動機構(XYZ)和驅動絲桿分開,能有效地將手部操作產生的震動隔離,實現真空意義上的高精度、高穩定操作(Submicron Probing)。探針臺的建設需要克服地球環境和宇宙環境的技術差距。
探針臺可以在整個晶圓上或被鋸成單個芯片后運行測試。整個晶圓級的測試允許制造商在整個生產過程的不同階段多次測試設備,并密切監控制造以查看是否存在任何缺陷。在較終封裝之前對單個芯片進行測試可以將有缺陷的器件從流通中移除,確保只封裝功能器件。探針臺在整個研發、產品開發和故障分析中都有很大的用途,工程師需要靈活而精確的工具來對設備的不同區域進行一系列測試。讓一個好的探針臺與眾不同并為您的測試增加價值的是它能夠精確控制這些探針在設備上的位置、外部刺激的應用方式以及測試發生時設備周圍的環境條件。探針臺的科研成果有助于人類更有效地保護地球和地球上的所有生命。安徽高精度探針臺價格
探針臺能夠幫助科學家解決在太空探索過程中的技術難題。安徽高精度探針臺
除探針臺外,晶圓檢測環節還需要使用測試儀/機,測試儀/機用于檢測芯片功能和性能,探針臺實現被測芯片與測試機的連接,通過探針臺和測試機的配合使用,可以對晶圓上的裸芯片進行功能和電參數測試或射頻測試,可以對芯片的良品、不良品的進行篩選。 在封裝之前對單個芯片進行測試可以將有缺陷的器件從流通中移除,確保只封裝功能器件。探針臺在整個研發、產品開發和故障分析中都有很大的用途,工程師需要靈活而精確的工具來對設備的不同區域進行一系列測試。安徽高精度探針臺
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